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TOKYO ELECTRON LIMITED
Products

製品

最先端の半導体回路の最小線幅は原子数十個レベルです。
半導体がより小さく、また多様化、複雑化する中で、技術革新の要となるのは繰り返しおこなわれるパターニング工程。
東京エレクトロンは、パターニングの4連続工程に装置をもつ唯一の会社です。

半導体製造装置

コータ/デベロッパ

エッチング

洗浄

成膜

テスト

ウェーハボンダー/デボンダー

ウェーハエッジトリミング

SiCエピタキシャル

ガスクラスターイオンビーム

ディスプレイ製造装置

FPD