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TOKYO ELECTRON LIMITED

デバイスエンジニア、プロセスエンジニア必見! ADMETA Plus 2023

イベント概要

開催日

2023.10.11〜2023.10.13

開催場所

ハイブリッド開催(オンライン・オンサイト)

対象者

デバイスエンジニア プロセスエンジニア

最先端の配線技術全般を扱う学会の1つAdvanced Metallization Conference 2023が、10月11日から13日にハイブリッド開催されます!

多様なデバイス分野において、低抵抗、高集積、高機能、低コスト、高信頼性を実現する配線技術の重要性はますます増しています。これらの要求に応えるべく、配線関連の材料、プロセス、設計、実装、装置、コスト、分析技術などにフォーカスし、さまざまな課題解決に向けて基礎から応用開発まで、産学官の研究者、技術者による総合的な議論がおこなわれます。東京エレクトロン(TEL)は、招待講演を含む、3件の発表をおこないます!

ぜひこの機会にエキスパートとともに学び、半導体業界を探求し、ネットワークを築きましょう!

招待講演
Session 2: Advanced Integration
Advanced Logic Process Technologies toward 2nm and Beyond
T. Yamamoto, Tokyo Electron Ltd.

Poster Session
October 12, 2023 (THU) 18:20-20:00
P-3 Graphene Deposition with High Power Pulsed Sputtering (HPPS) Plasma
Y. Ooishi1, A. Kuwada1, F. Maeda2, M. Shinohara3, S. Tanaka4, T. Matsumoto4
1 Fukuoka University,
2 Fukuoka Institute of Technology
3 Fukuoka University
4 Tokyo Electron Technology Solutions Co. Ltd.

P-4 Direct Deposition of Graphene on Si with High Power Pulsed Sputtering (HPPS) Plasma
Y. Ooishi1, A. Kuwada1, F. Maeda2, M. Shinohara3, S. Tanaka4, T. Matsumoto4
1 Fukuoka University
2 Fukuoka Institute of Technology
3 Fukuoka University
4 Tokyo Electron Technology Solutions Co. Ltd.